ecoFluor - Umweltfreundliches Reinigungsgas

Kurzbeschreibung

© Fraunnhofer EMFT

Plasmadeposition

Viele Plasma-Beschichtungsanlagen der Halbleiterindustrie müssen nach jedem Fertigungsschritt gründlich und regelmäßig gereinigt werden. Bisher geschieht dies überwiegend mit perfluorierten Kohlenwasserstoffen (PFCs) und Stickstofftrifluorid (NF3) – Gasen, die für die Umwelt bis zu 17.000 Mal schädlicher sind als das „Treibhausgas“ CO2. Solvay, Texas Instruments, Muegge und die Fraunhofer EMFT arbeiten im Projekt ecoFluor an einer umweltfreundlicheren Alternative, die lediglich das Treibhauspotenzial von CO2 hat: Der von den Kooperationspartnern eingesetzte Gasmix „Solvaclean“ aus Fluor, Stickstoff und Argon verzichtet vollständig auf die besonders umweltschädlichen Gase PFCs und NF₃. Zusätzlich soll das neue Gas die Reinigungszeit der Maschinen verkürzen und so Kosten einsparen. 

Partner

  • Solvay Fluor GmbH
  • Texas Instruments Deutschland GmbH
  • Muegge GmbH

 

Gefördert

Das Projekt wird im Rahmen der Fördermaßnahme „r+Impuls – Innovative Technologien für Ressourceneffizienz – Impulse für industrielle Ressourceneffizienz“ des Bundesministeriums für Bildung und Forschung (BMBF) gefördert.