Elektrostatische Träger für dünne Silizium-Wafer

Kurzbeschreibung

© Foto Fraunhofer EMFT

Mobiler elektrostatischer Träger zur Handhabung von sehr dünnen Schaltungswafern

Projektziel ist die Entwicklung einer elektrostatischen Trägertechnik für ca. 100 µm dünne Silizium-Wafer und deren Erprobung in typischen Rückseiten-Prozesssequenzen bei der Herstellung von Leistungselektronik-Bausteinen. Im Rahmen des Projekts wurden erstmals mobile elektrostatische Träger („E-carrier“) auf der Basis von Silizium-Wafern realisiert, die über Rückseitenkontakte elektrostatisch auf- bzw. entladen werden können. Es wurde gezeigt, dass dünne Wafer auf den E-carriern bei Temperaturen von 200 °C für über 2 Stunden sicher und reversibel fixiert werden können.

Anwendung

Mobile elektrostatische Träger ermöglichen das sichere Handhaben und Prozessieren von sehr dünnen oder fragilen Schaltungswafern. Sie bieten insbesondere eine reversible Stabilisierung für sehr dünne Halbleiter-Substrate bei Rückseitenprozessen, wie es etwa für Bausteine der Leistungselektronik, Solarzellen, bei der LED-Herstellung oder für die 3d-Integration von integrierten Schaltungen erforderlich ist.

Partner

Semikron Elektronik GmbH, Nürnberg

Gefördert

Dieses Projekt wurde von der Bayerischen Forschungsstiftung, München gefördert.