Die kleinste Mikropumpe der Welt

Kurzbeschreibung

© Foto Fraunhofer EMFT

Silizium-Mikropumpe, 5x5 mm

Wissenschaftler und Wissenschaftlerinnen der Fraunhofer EMFT wollen Mikropumpen so klein machen, dass die Herstellungskosten signifikant sinken und eine industrielle Produktion in großen Stückzahlen erlauben. Ein wichtiges Etappenziel auf diesem Weg hat das Münchner Team bereits erreicht: Ihre neue Mikropumpe misst gerade einmal 5x5x0,6 mm3. Bei dieser Chipgröße fänden auf einem 8 Zoll Wafer mehr als 1000 Mikropumpen Platz, so dass in hohen Stückzahlen (mehr als 200 Wafer pro Woche) die Herstellungskosten im Vergleich zum „herkömmlichen“ Pumpenchip der Größe 7x7x0,8 mm3 deutlich sinken.

Anwendung

Durch diese Technologie werden Silizium Mikropumpen perspektivisch für Anwendungen interessant, die bei großen Stückzahlen sehr geringe Kosten erfordern, etwa als Disposables in der Medikamentendosierung oder bei Consumeranwendungen.