Siliziumtechnologien und Devices

© Foto Fraunhofer EMFT

Sensorchip auf Platine

Auch Objekte sollen sich künftig untereinander vernetzen und kommunizieren. Sensoren und Aktoren sind ein Dreh- und Angelpunkt, um Visionen wie das „Internet of things“ oder „Industrie 4.0“ realisieren zu können. Die intelligenten Helfer müssen dabei immer hochwertiger, multifunktionaler und robuster werden und sich gleichzeitig preiswert fertigen lassen.

Die Fraunhofer EMFT bietet im Geschäftsfeld „Siliziumtechnologien und Devices“ ein universelles Leistungsportfolio an: von der Verfahrensentwicklung über das Design und die Fertigung von Komponenten (Sensoren und Aktoren) bis hin zur Realisierung von Sensorknoten für komplexe Systeme. Im Bereich der Verfahrensentwicklung für siliziumbasierte Sensoren bietet die Fraunhofer EMFT ihren Kundinnen und Kunden eine produktionsnahe Technologieplattform, um neue Prozessmedien zu testen oder ausgewählte Prozessschritte zu optimieren und dadurch beispielsweise Performance oder Ausbeute zu steigern. Mit dem vorhandenen Equipment lässt sich auf Wunsch auch eine Kleinserienfertigung realisieren – etwa, wenn entsprechend geringe Stückzahlen auf dem Weltmarkt nicht erhältlich sind. An Ausstattung stehen unter anderem eine 200mm-CMOS/MEMS-Linie – bei der alle Prozesse CMOS-Standard aufweisen – sowie eine MEMS-Linie für nicht CMOS kompatible Materialien zur Verfügung. Weiterhin sind Werkzeuge für das Maskenlayout und eine umfangreiche Prozesscharakterisierung vorhanden.

Ziel ist es, an der Fraunhofer EMFT einen universellen „Technologiebaukasten“ zu etablieren, um schnelle und kostengünstige Systemlösungen von Sensorknoten für die Industrie zu ermöglichen.

Projektbeispiele

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