ecoFluor-Projekt: Test von klimafreundlicher Technologie zur Emissionsbegrenzung

Presseinformation / 14.12.2015

Solvay, Texas Instruments, Muegge und die Fraunhofer EMFT wollen mit neuen Reinigungsgasen die Treibhausgasemissionen in der industriellen Halbleiterherstellung reduzieren. Das auf drei Jahre angelegte Projekt ecoFluor wird teilweise vom deutschen Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) gefördert und startet am 1. Januar 2016.

Mit einem alternativen Gasmix aus Fluor, Stickstoff und Argon wollen die Kooperationspartner die unumgänglichen Reinigungsschritte in der industriellen Halbleiterherstellung umweltfreundlicher machen. Bei der neuartigen Reinigungsgasmischung ist der Fluoranteil rund 20 Prozent geringer als bei den üblicherweise eingesetzten Gasen.

Bisherige Erkenntnisse sind viel versprechend: Das heute meistverwendete Reinigungsgas Stickstofftrifluorid ist von seinem „Global Warming Potential (GWP)“ 17.200 mal schädlicher als CO2. Die von den Wissenschaftlern im EcoFluor-Projekt vorgeschlagene Alternative hat dagegen lediglich ein GWP, das dem von CO2 entspricht.„Die klimafreundlichere Alternative von ecoFluor wird die Treibhausgasemissionen senken und darüber hinaus die Effizienz des Verfahrens für die Nutzer verbessern“, so Rodrigo Elizondo von Solvay.

Das Projekt ecoFluor wird zum Teil mit Mitteln des Verbundvorhabens „r+Impuls – Innovative Technologien für Ressourceneffizienz – Impulse für die industrielle Ressourceneffizienz” gefördert, das als Teil eines Rahmenprogramms in der „Forschung für nachhaltige Entwicklung“ (FONA) eingebettet ist. Das Projekt läuft über drei Jahre.

Wichtige Meilensteine sind u. a. die Validierung und Optimierung der neuen Reinigungsverfahren in den Produktionsanlagen und die abschließende Freigabe für die industrielle Produktion.