Einblicke in die Welt der Mikroelektronik

Einblicke in die Welt der Mikroelektronik

So entsteht hochtechnologischer Fortschritt im Reinraum der Fraunhofer EMFT.

  • Thermische Oxidation von Silizium zur Isolation von Transistoren in einem Hochtemperaturofen bei ca. 1000 °C
  • Plasmaätzen zur Erzeugung von Strukturen in Nanometer-Größe in einem mit Ätzgas gefülltem Vakuumreaktor

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