Piezoelektrisch angetriebene Mikropumpen sind zentrale Bauteile von Mikrodosiersystemen. Das Fraunhofer EMFT bietet anwendungsspezifische Lösungen mit einem breiten Portfolio aus Silizium-, Edelstahl- und Titanmikropumpen. Ein Highlight: die weltweit kleinste Silizium-Mikropumpe mit nur 3,5 × 3,5 × 0,6 mm³.