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Mikropumpen
Die nanolitergenaue Dosierung von Gasen und Flüssigkeiten ist ein zentrales Kompetenzfeld des Fraunhofer EMFT. Das Portfolio umfasst hochminiaturisierte Silizium-, Edelstahl- und Titanmikropumpen sowie Dosiersystemlösungen. Das Anwendungsspektrum reicht von der Medizintechnik über Industrieanwendungen bis hin zur Consumerelektronik.
Fraunhofer-Institut für Elektronische Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT