Mikropumpen

Die nanolitergenaue Dosierung von Gasen und Flüssigkeiten ist ein zentrales Kompetenzfeld der Fraunhofer EMFT. Das Portfolio umfasst hochminiaturisierte Silizium-, Edelstahl- und Titanmikropumpen sowie Dosiersystemlösungen. Das Anwendungsspektrum reicht von der Medizintechnik über Industrieanwendungen bis hin zur Consumerelektronik.

Piezomikropumpen

Medikamentendosiersysteme

Implantierbare Mikropumpen

Mikropumpen für Gassensoren

Dosierüberwachung

Hochspannungstreiber für MEMS Aktoren und Sensoren