Fraunhofer-Institut für Elektronische Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT
Messumgebung zur Charakterisierung der MEMS-Ultraschallwandler
Labor für MEMS-Ultraschallwandler
Präzise Tests und Charakterisierung
Das Fraunhofer EMFT bietet Herstellern von MEMS-Ultraschallwandlern professionelle Test- und Charakterisierungsmöglichkeiten. Diese Transducer (Wandler) erzeugen und empfangen Ultraschallwellen für präzises Sensing und Aktuation in Bereichen wie medizinische Bildgebung, Umweltüberwachung und Gestenerkennung. Die Charakterisierung ist entscheidend für Qualitätssicherung, Leistungsbewertung und Designoptimierung, um sicherzustellen, dass die Transducer den Anforderungen ihrer Anwendungen entsprechen.
Technologieangebot
Das Labor des Fraunhofer EMFT ist mit technischer Infrastruktur und Einrichtungen ausgestattet, um die Charakterisierung und Messungen von Ultraschallsystemen mit Betriebsfrequenzen von 0,1 - 20 MHz und Entfernungen unter 50 cm durchzuführen.
Die Messungen im Labor des Fraunhofer EMFT umfassen:
| Messung | Details |
| Messung des akustischen Feldes in XYZ (3D-Mapping) | Aktor als Sender |
| Akustisches Feld bei Phasendrehung von Multikanalaktoren |
|
| Empfangsleistung/ Sensitivität des akustischen Feldes | Aktor als Empfänger |
| Zerstörende Prüfung | Maximales akustisches Feld und Spannung vor Zerstörung |
| Impedanzmessung | Mit VNA und Bestimmung des äquivalenten elektrischen Modells der Aktoren |
Das zu charakterisierende System kann in Luft, nichtleitendem Silikonöl oder, hermetisch gesiegelt, in deionisiertem Wasser getestet werden. Messungen von Systemen mit Betriebsfrequenzen unter 50 kHz sind nicht möglich. Vor der Charakterisierung sind Informationen über die Betriebsspannung, das maximal erwartete akustische Feld sowie das Betriebsmedium (Wasser, Öl, Luft) des Systems erforderlich.
Technische Daten
Die folgende Ausstattung steht im Labor des Fraunhofer EMFT zur Verfügung:
- Hydrofon für Messungen in Silikonöl (0,1 – 20 MHz)
- Hydrofon für Messungen in Wasser (0,1 – 20 MHz)
- Referenzwandler (0,1 – 20 MHz)
- Ultraschallmikrofon (0,05 – 2 MHz)
- Signalverstärker (20 dB)
- DC-Leistungsanalysator (up to 60 V)
- 8-Kanal-Sende-/Empfangsboard zur Signalgenerierung/-empfang
- Oszilloskop
- Vektor-Netzwerkanalysator (900 Hz – 67 GHz)
Download Infoblatt
Fraunhofer EMFT ist Partner-Institut des Bavarian Chip-Design-Centers
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