Die von Fraunhofer EMFT Forschenden entwickelte Capacitive Coupled Transmission Line Pulsing (CC-TLP) Methode ist ein neuer internationaler Standard für ESD-Messungen. Sie ermöglicht wesentlich höhere Genauigkeit und Reproduzierbarkeit in Bauteilemessung als die bisher gebräuchlichen Test Methoden.
Abscheidung von dünnen, einkristallinem Silizium bei niedrigen Temperaturen (<450 °C) durch Mikrowellenplamaanregung.
Ressourceneffiziente Mikroelektronik
Im Rahmen der Initiative Green ICT @ FMD arbeitet die Fraunhofer EMFT an Optimierungsansätzen und innovativen Technologien für eine umwelt- und ressourcenschonend gestaltete Informations- und Kommunikationstechnik.