
Hardwaresicherheit
Hochpräzise 5-Achs-CNC-Fräse mit integriertem Schichtdickensensor |
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Infrarot (IR) - Laseranlage |
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Ionenstrahlätzanlage für homogenes und hochpräzises Bearbeiten & Abtragen einzelner IC-Metalllagen. Typ „IntlVac Nanoquest I“ |
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Rasterelektronenmikroskop (SEM) für Chipscanning, Typ „Raith 150 Two“ |
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Dual-Beam FIB/SEM Anlage Typ „Raith Velion“ für präzise Bearbeitung und Modifikation von IC‘s |
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Weiteres Equipment für Bearbeitung und Prozesskontrolle |
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