Fraunhofer-Institut für Elektronische Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFTDie Forscherinnen und Forscher des Fraunhofer EMFT besitzen langjährige Erfahrung in Silizium Halbleitertechnologien. Das Institut verfügt über einen eigenen CMOS Reinraum zur Bearbeitung von Siliziumwafern und bietet eine breite Palette an Einzelprozessen und daraus resultierende Prozessfolgen als Dienstleistungen an. Bearbeitung von nicht CMOS-kompatiblen Wafern ist in einer eigenen MEMS-Linie möglich. Zur Charakterisierung von Siliziumwafern steht eine umfangreiche Messinfrastruktur zur Verfügung. Eine Kernkompetenz des Fraunhofer EMFT ist die Entwicklung von hochempfindlichen, rauscharmen Halbleiterkomponenten zum Nachweis kleinster Signale, die für anwendungsspezifische Nutzung angepasst werden können.