Dünnes Silizium

Für heterogene 3D-Integration und Chip-in-Foil Packages werden extrem dünne Siliziumchips benötigt. Die technologische Fähigkeit, dünnes Silizium auf Wafer-level herzustellen, ist eine wichtige Grundlage dafür. Für die umfangreiche Prozessfolge der Dünnungstechnik ist an der Fraunhofer EMFT in München bestens ausgerüstet, so dass beliebig dünne Devices auf Waferlevel realisiert werden können. 

Anwendungsfelder für sehr dünne Halbleiter-Bausteine sind neben der 3D-IC Integration auch die flexible Elektronik für Sensorik am Körper und extrem flache Sensorsysteme für Zustandsüberwachung (predictive maintenance) von Anlagen, Maschinen oder Bauwerken.

Dünnes biegsames Siliziumwafer
© Fraunhofer EMFT
Dünnes biegsames Siliziumwafer

Als Chipvereinzelungstechnik für sehr dünne Halbleiterwafer bietet die Fraunhofer EMFT das patentierte Verfahren „Dicing-by-Thinning“ an. Mit den an der Institution vorhandenen Technologien lassen sich flexible Siliziumchips mit einer Dicke von 10 - 30 μm realisieren. Das Handling solcher extrem dünnen Siliziumwafer stellt besondere Herausforderungen dar. Techniken und Hilfsmittel zum sicheren Handling von dünnem Silizium, z.B. elektrostatische Trägersysteme (E-Carrier und E-Foil), gehören ebenfalls zu den Kompetenzen der Fraunhofer EMFT. E-Carrier Systeme ermöglichen auch eine Rückseiten-Prozessierung von extrem dünnen und fragilen Halbleitersubstraten.

Durch die langjährigen Forschungsarbeiten zur Herstellung von sehr dünnen Halbleitersubstraten hat Fraunhofer EMFT fundierte Kompetenzen und Methoden zur mechanischen und elektrischen Charakterisierung von dünnen Silizium-Chips aufgebaut.

Flexibles Silizium auf Stahlfolie
© Fraunhofer EMFT / Bernd Müller
Flexibles Silizium auf Stahlfolie
Elektrostatischer Träger für dünne Silizium-Substrate
© Fraunhofer EMFT / Bernd Müller
Elektrostatischer Träger für dünne Silizium-Substrate
Zuverlässigkeitsprüfung für dünne Chip-Folien-Packages
© Fraunhofer EMFT / Bernd Müller
Zuverlässigkeitsprüfung für dünne Chip-Folien-Packages

Diese Kompetenzen im Bereich Dünnes Silizium stehen für Ihre Anwendungsthemen an der Fraunhofer EMFT zur Verfügung, nehmen Sie Kontakt mit uns auf!

 

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