Fraunhofer-Institut für Elektronische Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFTInterdigital-Transducer (IDT) Komponenten sind das Herzstück der elektrochemischen Sensorik. Am Fraunhofer EMFT stehen Komponenten wahlweise für impedimetrische, amperometrische oder potentiometrische Messungen zur Verfügung. Methoden der Mikroelektronik und der Mikrosystemtechnik sind optimal, um kompakte und gleichzeitig leistungsfähige Transducer herzustellen. Das Fraunhofer EMFT setzt dafür Edelmetalle wie Gold oder Platin, aber auch organische Leiter und Nanomaterialien ein. Diese werden in Dünnfilmtechnik oder mit Druckverfahren auf Silizium, Glas, Keramik und flexible Foliensubstrate aufgebracht. Dabei ist das Fraunhofer EMFT darauf spezialisiert, flexible und individuelle Lösungen für ihre Kunden zu entwickeln.
Interdigital-Transducer (IDT)
Interdigital-Transducer für impedimetrische Messungen
Die Interdigital-Transducer für impedimetrische Messungen bestehen aus interdigitalen Elektroden-Konfigurationen (Kammstrukturen) und sind für kapazitive und Leitwertmessungen geeignet.
Interdigital-Transducer Chip
IDT-Chip
| Anordnung Kammstrukturen | Polygon |
| Chipfläche | 4,5 x 4,5 mm |
| Material | Goldelektroden auf Glas oder Folie |
| Fingerabstand | ≥ 3µm |
| Mittelektrode | ja |
| Passivierung | bei Bedarf Polyimid |
| Kapazität | > 8 pF |
| Amperometrische Messungen | ja |
| Integrierter Temperatursensor | Widerstand (RT bis 200 °C) |
| Integrierter Heizer | bis 200 °C |
| Beschichtung | auf Kundenanfrage |
| AVT | Draht Bond, PCB mit ZIF Stecker |
Mehr-Elektroden-Transducer für amperometrische und impedimetrische Messungen
Bei diesem Transducer-Typ ist eine Elektrode einer Elektrochemischen Zelle als Interdigitalstruktur (IDT) ausgeführt.
Mehr-Elektroden-Transducer auf flexiblem PCB
| Elektrodenanordnung | kreisförmig |
| Durchmesser Arbeitselektrode (WE) | 2000 µm |
| Chipfläche | 18 x 6,75 mm |
| Material | Goldelektroden auf Glas |
| Referenzelektrode (RE) | Possibility to print Ag/AgCl |
| Fingerabstand (IDT) | ≥ 5µm |
| Passivierung | bei Bedarf Polyimid (photostrukturiert) |
| Beschichtung | auf Kundenanfrage |
| AVT |
Diese Halbleiterbauelemente stehen für Ihre Anwendungsthemen am Fraunhofer EMFT zur Verfügung, nehmen Sie Kontakt mit uns auf!