Interdigital-Transducer (IDT)

Interdigital-Transducer (IDT) Komponenten sind das Herzstück der elektrochemischen Sensorik. An der Fraunhofer EMFT stehen Komponenten wahlweise für impedimetrische, amperometrische oder potentiometrische Messungen zur Verfügung. Methoden der Mikroelektronik und der Mikrosystemtechnik sind optimal, um kompakte und gleichzeitig leistungsfähige Transducer herzustellen. Die Fraunhofer EMFT setzt dafür Edelmetalle wie Gold oder Platin, aber auch organische Leiter und Nanomaterialien ein. Diese werden in Dünnfilmtechnik oder mit Druckverfahren auf Silizium, Glas, Keramik und flexible Foliensubstrate aufgebracht. Dabei ist die Fraunhofer EMFT darauf spezialisiert, flexible und individuelle Lösungen für ihre Kunden zu entwickeln.

Interdigital-Transducer für impedimetrische Messungen

Die Interdigital-Transducer für impedimetrische Messungen bestehen aus interdigitalen Elektroden-Konfigurationen (Kammstrukturen) und sind für kapazitive und Leitwertmessungen geeignet.

Interdigital-Transducer Chip
© Fraunhofer EMFT
Interdigital-Transducer Chip

IDT-Chip

Anordnung Kammstrukturen Polygon
Chipfläche 4,5 x 4,5 mm
Material Goldelektroden auf Glas oder Folie
Fingerabstand  ≥ 3µm
Mittelektrode ja
Passivierung bei Bedarf Polyimid
Kapazität > 8 pF
Amperometrische Messungen ja
Integrierter Temperatursensor Widerstand (RT bis 200 °C)
Integrierter Heizer bis 200 °C
Beschichtung auf Kundenanfrage
AVT Draht Bond, PCB mit ZIF Stecker

Mehr-Elektroden-Transducer für amperometrische und impedimetrische Messungen

Bei diesem Transducer-Typ ist eine Elektrode einer Elektrochemischen Zelle als Interdigitalstruktur (IDT) ausgeführt.

Mehr-Elektroden-Transducer auf flexiblem PCB
© Fraunhofer EMFT / Bernd Müller
Mehr-Elektroden-Transducer auf flexiblem PCB

Elektrodenanordnung kreisförmig
Durchmesser Arbeitselektrode (WE) 2000 µm
Chipfläche 18 x 6,75 mm
Material Goldelektroden auf Glas 
Referenzelektrode (RE) Possibility to print Ag/AgCl
Fingerabstand (IDT) ≥ 5µm
Passivierung bei Bedarf Polyimid (photostrukturiert)
Beschichtung auf Kundenanfrage
AVT  

Diese Halbleiterbauelemente stehen für Ihre Anwendungsthemen an der Fraunhofer EMFT zur Verfügung, nehmen Sie Kontakt mit uns auf!

 

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