Hochspannungstreiber für MEMS Aktoren oder Sensoren

In zahlreichen industriellen, medizinischen und kommerziellen Anwendungen werden piezoelektrische oder kapazitive MEMS Aktoren oder Sensoren zur Steuerung oder Messung von physikalischen Parametern eingesetzt. Für eine große Zahl dieser Elemente werden hohe Spannungen bei kleiner Verlustleistung benötigt. Gerade bei portablen und mobilen Geräten besteht dadurch der Bedarf, den Hochspannungstreiber für MEMS Aktoren oder Sensoren zu miniaturisieren und durch einen integrierten Schaltkreis - einen Hochspannungstreiber - umzusetzen.

ASIC für Treiberelektronik von Mikropumpen
© Fraunhofer EMFT / Bernd Müller
ASIC für Treiberelektronik von Mikropumpen

Das F&E Team der Fraunhofer EMFT entwickelt integrierte Hochspannungstreiber (ASIC) für piezoelektrische MEMS Aktoren, wie sie zum Beispiel in Mikropumpen eingesetzt werden. Diese Lösungen bieten eine deutlich verbesserte Energieeffizienz. Die Elektronik kann weiter miniaturisiert werden, ohne Abstriche bei der Leistungsfähigkeit zu machen – für zukunftsträchtige Anwendungen wie etwa in medizinischen Implantaten oder im Smartphone eine entscheidende Voraussetzung. 

Die bestehenden Lösungen können um kundenspezifische Anforderungen,  die über eine reine Hochspannungserzeugung hinausgehen, ergänzt werden. So sind Komplettlösungen für Mikrodosiersysteme, die eine Kontrolle und Steuerung der Pumpe ermöglicht, umsetzbar.  Diese vollintegrierten Systeme können dann beispielsweise die fehlerfreie Funktion der Pumpe  oder Durchflussparameter überwachen.

Diese Kompetenzen zur Entwicklung von Hochspannungstreibern stehen für Ihre Anwendungsthemen an der Fraunhofer EMFT zur Verfügung, nehmen Sie Kontakt mit uns auf!

 

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