In zahlreichen industriellen, medizinischen und kommerziellen Anwendungen werden piezoelektrische oder kapazitive MEMS Aktoren oder Sensoren zur Steuerung oder Messung von physikalischen Parametern eingesetzt. Für eine große Zahl dieser Elemente werden hohe Spannungen bei kleiner Verlustleistung benötigt. Gerade bei portablen und mobilen Geräten besteht dadurch der Bedarf, den Hochspannungstreiber für MEMS Aktoren oder Sensoren zu miniaturisieren und durch einen integrierten Schaltkreis - einen Hochspannungstreiber - umzusetzen.