Klimaschrank Feuchte-Wärme |
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Klimaschrank mit 2 Prüfkammern |
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Klimaschrank Temperaturwechsel |
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Precision Temperature Forcing System |
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Trockenschrank |
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Hochstrom-Labornetzgerät |
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Elektrodynamische Schwinganlage |
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Zug/ Druck Material Prüfmaschine |
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Metallografische Schliffpräparation
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Stereo- und Auflichtmikroskope mit Bildanalyse |
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Konfokalmikroskopie & Profilometrie (optisch, taktil) |
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Rasterkraftmikroskopie (AFM) |
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Hochauflösende Rasterelektronenmikroskope mit EDX-Analyse |
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IR-Photonenemissionsmikroskopie & -Thermografie |
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Röntgenprüfanlage mit Hochleistungs- µCT-Scan |
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Reflektometrie & Ellipsometrie |
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FTIR-Spektroskopie |
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MD-PICTS |
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Source Meter, Teraohm- und Picoamperemeter |
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Contaminometer |
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Tauchlötbad mit SPS-Steuerung |
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Bondpull- & Bond Ball/ Die Shear Test |
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Hochpräzise 5-Achs-CNC-Fräse mit integriertem Schichtdickensensor |
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Chemisch-mechanisches Schleif- und Poliersystem (CMP) |
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Infrarot (IR) - Laseranlage |
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Ionenstrahlätzanlage Typ „IntlVac Nanoquest I“ |
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ICP-RIE-Plasmaätzanlage |
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Rasterelektronenmikroskop für Chipscanning, Typ „Raith 150 Two“ |
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Dual-Beam Focussed Ion Beam / Rasterelektronenmikroskop Anlage Typ „Raith Velion“ für präzise Bearbeitung und Modifikation von IC‘s |
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Hochauflösendes Rasterelektronen-mikroskop Typ Zeiss Gemini 560 für Analysen und Prozesskontrolle |
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Weiteres Equipment für Bearbeitung und Prozesskontrolle |
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Weiteres Equipment für Bausteinanalyse |
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Kryostat (Temperatur<10 mK) |
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Transmission Line Pulser TLP |
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Human Body Model HBM Tester (Bausteintest) |
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Human Body Model HBM Tester (Systemtest)
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Charged Device Model CDM Tester |
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Capacitively Coupled Transmission Line Pulsing CC-TLP |
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Robustheitsmessplatz (EMV Scanner) |
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Weiteres Equipment |
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